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退火爐處理泄漏點幾大方法是什么?

文章出處:常見問題 責(zé)任編輯:東莞市大河機(jī)械設(shè)備有限公司 發(fā)表時間:2023-05-17
  

退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。那么以下是介紹退火爐處理泄漏點幾大方法:

退火爐

1. 降低硬度,軟化工件,改進(jìn)切削加工性。

2. 改進(jìn)或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力,減少工件變形、開裂或裂紋傾向。

3. 細(xì)化晶粒,改進(jìn)組織以提高工件的機(jī)械性能,消除組織缺陷。

4. 均勻材料組織和成分,改進(jìn)材料性能或為以后熱處理,如退火、回火做好組織準(zhǔn)備。

經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)泄漏后,需要及時封堵,才能達(dá)到改進(jìn)爐內(nèi)氣氛的效果。對焊縫開裂部位進(jìn)行補(bǔ)焊;已經(jīng)老化或損壞的密封墊圈要更換;對輪動的螺栓進(jìn)行堅固等。

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